在线观看国产免费高清视频,国产亚洲精品美女久久久久久,国产免费人成在线视频学生,久久精品国产**下载午夜91香蕉国产在线观看免费,国产免费福利视频,久久香蕉精品国产**最新,久久精品国产99精品亚洲,久久下载精品国产99国产精品亚洲,国产一级强片免费视频,

中國已成為全球增長(cháng)速度最快的單晶硅生產(chǎn)和消費國家，單晶硅分為直拉法（CZ）、區熔法（FZ）和外延法，其中直拉法硅單晶生長(cháng)（CZ）產(chǎn)品占總產(chǎn)量的70%-80%。

為滿(mǎn)足集成電路的發(fā)展，對硅單晶材料提出了“大尺寸、高品質(zhì)”的要求。因晶圓直徑越大，芯片成本越低，伴隨著(zhù)大直徑硅單晶的發(fā)展，投料量增加，大熔體嚴重對流成為制約高品質(zhì)單晶生成的關(guān)鍵問(wèn)題。

在大尺寸單晶硅片制備領(lǐng)域，新型磁控直拉硅單晶技術(shù)由于具備無(wú)生長(cháng)條紋、單晶硅二次缺陷少、雜質(zhì)含量低等優(yōu)勢，成為目前該領(lǐng)域主流技術(shù)。

在單晶硅生長(cháng)設備中引入高溫超導磁場(chǎng)模塊，抑制熔體中的熱對流、減少固液界面溫度波動(dòng)、降低氧濃度提高雜質(zhì)徑向分布均勻性，可以大幅度提高晶體品質(zhì)。

相較于永磁體、常規電磁體，超導磁體由于其低能耗、磁場(chǎng)強度高、抑制溶體對流水平磁場(chǎng)均勻性好等優(yōu)點(diǎn)，被公認為適用于單晶硅制備的最佳方案。

用高溫超導材料制作大口徑傳導式磁體，無(wú)需消耗液氮，制冷成本低，可以滿(mǎn)足大尺寸（6-12in及以上)、高品質(zhì)單晶硅生長(cháng)所需的磁場(chǎng)強度（水平方向0.1T-0.5T）。

低溫超導線(xiàn)材的工作溫度為液氦溫區4.2K附近，超導態(tài)溫度區域很窄，易產(chǎn)生失超現象。而高溫超導帶材，只要在液氮溫區77K以下，超導帶材就可顯現超導特性。因此高溫超導磁控硅單晶生長(cháng)爐磁體工作溫度范圍更廣，對溫度的適應性更強。